Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения

Промышленные предприятия Воронежа
Sergey
Аватара пользователя
Администратор
Сообщений: 2541
Регистрация: 16.11.2016

Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения

#1

Сообщение Sergey » 24 авг 2017, 20:53

ОАО «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения» (НИИПМ) - Воронеж, Ленинский проспект, 160а
Цитата:
ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

1-min.jpg


Воронежский «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения» - один из ключевых представителей отрасли электронного машиностроения в Российской Федерации и старейшее предприятие-разработчик и изготовитель специального технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники.

Исторически сложившаяся специализация института практически не изменилась за последние пятьдесят пять лет, и в таких направлениях, как фотолитография, химическая обработка пластин и фотошаблонов, синтез тонкопленочных покрытий, плазмохимическая обработка, контрольно-измерительное и контрольно-испытательное оборудование институт сохранил и преумножает научно-технический задел , занял лидирующие позиции и продолжает активно развиваться.

За годы работы институтом выполнено более тысячи научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, разработано более 500 образцов технологического, контрольно-измерительного и испытательного оборудования. Изготовлено 10 свыше тысяч единиц современного оборудования для оснащения предприятий радиоэлектронного комплекса .

ОАО «НИИПМ» сертифицировано по стандарту ISO 9001: 2008 и является членом Международной ассоциации участников космической деятельности МАКД / IASP. ОАО «НИИПМ» имеет лицензию на осуществление космической деятельности. В рамках совместного проекта с предприятиями Роскосмоса было разработано и изготовлено порядка 18 установок - это первое в России оборудование для сборки и квалификации солнечных батарей нового поколения .

Научно-производственная площадка ОАО «НИИПМ» включает в себя ряд отделов и лабораторий по разработке оборудования и технологий и производство, состоящее из нескольких цехов. Кадровый потенциал института - это 250 сотрудников Более, около половины которых заняты научной, конструкторской и технологической работой. Среди них доктора и кандидаты наук, инженерно-технические работники.

Оборудование фотолитографии стало одним из приоритетных направлений в НИИПМ еще в 1968 г., когда после успешной разработки первой автоматической однотрековой линии фотолитографии НИИПМ был назначен головным предприятием в министерстве по разработке фотолитографического оборудования. Институт не только оснащал предприятия микроэлектроники прогрессивным высокопроизводительным оборудованием , но и успешно разрабатывал типовые технологии процессов фотолитографии. До сих пор данное направление сохраняет динамику своего развития , создавая оборудование для реализации физико-химических процессов фотолитографии на пластинах и в производстве фотошаблонов , от ручных и полуавтоматических установок до автоматизированных и роботизированных трековых линий и кластеров .

Автоматические фотолитографические кластеры предназначены для проведения операций по формированию слоя резиста перед экспонированием и операций проявления и задубливания резиста после экспонирования . Применение кластерной платформы в оборудовании проведения физико-химических процессов фотолитографии полностью отвечает современным концепциям построения оборудования такого класса . Стоит отметить, что и автоматизированные линии фотолитографии, построенные на трековой платформе, изготавливаемые НИИПМ в последние годы, успешно работают на предприятиях отрасли, обеспечивая высокое качество продукции и производительность.

Автоматизированные линии химического травления и химического нанесения металлических слоев являются отражением современного состояния направления технохимического оборудования в НИИПМ . В основу разработок автоматизированных комплексов химической обработки положено модульное исполнение , предполагающие возможность организации разнообразных технологических процессов, путем комплектования отдельных модулей, использованы новые конструкторские решения в сочетании с полной автоматизацией всех процессов химической обработки , вспомогательных технологических операций и транспортировки. Этот принцип позволяет разработать комплексы оборудования для реализации ряда различных процессов : химическая очистка и травление, селективное автокаталитическое осаждение финишных металлических покрытий на контактные площадки изделия .

Оборудование гидромеханической и мегазвуковой очистки пластин, фотошаблонов, керамических и стеклянных подложек, разрабатываемое ОАО «НИИПМ», предназначено для односторонней и двухсторонней, индивидуальной и групповой обработки объектов, выполняется в ручном, полуавтоматическом или автоматическом исполнении.

В перечне производимого институтом плазмохимического оборудования представлены установки для плазмо-химической, ионно-плазменной, реактивно-ионной обработки в ручном, полуавтоматическом или автоматизированном исполнении, периодического или непрерывного действия, предназначенного для травления и очистки, для обработки поверхности широкого спектра изделий электронной техники.

Плазмохимическое оборудование, разрабатываемое ОАО «НИИПМ», предназначено для проведения операций травления, очистки, снятия фоторезиста с пластин при производстве изделий электронной техники, для плазмохимического травления пленок SiO2, ФСС, поли-Si, Si3N4, для обработки поверхности широкого спектра изделий электронной техники с целью удаления остатков органических веществ и окислов, а также для ее активации.

Одним из перспективных направлений института являются разработки по созданию современных устройств ионно-плазменного вакуумного распыления, занявшие прочные позиции в технологиях изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем для формирования контактов на поверхности микросхем.

Для проведения климатических испытаний и испытаний на надежность разработан ряд стендов с различным объемом загрузки . Выпускается оборудование для проведения ускоренных испытаний (проходные камеры), работающие совместно с измерителями параметров изделий. НИИПМ разрабатывает и поставляет современные системы для измерения и контроля статических и динамических параметров цифровых интегральных микросхем и дискретных компонентов.

Сохранив свою специализацию, институт продолжает держать курс на инновационное развитие. В планах предприятия - разработка новых перспективных технологий и создание автоматизированных комплексов оборудования.


ТЕХНОПАРК "СОДРУЖЕСТВО"
Цитата:
Технопарк «Содружество», базовым предприятием которого является ОАО «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения», зарегистрирован в 2007 году в соответствии с законом Воронежской области «О технопарках в Воронежской области», определяющим порядок и условия присвоения статуса технопарка и правовые основы государственной (областной) поддержки технопарков в Воронежской области.

Управляющей компанией технопарка «Содружество» выступает ЗАО «Воронежский инновационно-технологический центр», созданный в 2004 году при содействии Союза инновационных центров России, Федерального фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере, Зеленоградского инновационно-технологического центра, Воронежского государственного технического университета и Воронежского архитектурно-строительного университета.

Источник - официальный сайт предприятия

Sergey
Аватара пользователя
Администратор
Сообщений: 2541
Регистрация: 16.11.2016

Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения

#2

Сообщение Sergey » 24 авг 2017, 20:54

Из истории:
Цитата:
1961- Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (НИИПМ) был создан на основании Постановления ЦК КПСС и Совета Министров СССР №78-27 от 24.01.61 г. со специализацией в области научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок по созданию механизированных линий и отдельных видов технологического и испытательного оборудования для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.

1962- Начало строительства предприятия на отведенной промышленной площадке.

1964- Разработаны установки для сборки полупроводниковых приборов.

1965- Изготовлены первые единицы оборудования для водоподготовки.

1967- Основным направлением деятельности НИИ стала разработка и изготовление комплексных линий по изготовлению полупроводниковых приборов, оборудования для технологической и механической обработки пластин и кристаллов, оборудования для сборочных, технологических и испытательных операций.

1968- Разработана первая установка для проведения процессов фотолитографии.

1969- В месте с другими предприятиями электронной промышленности НИИПМ вошел в состав НПО "Электроника". Разработана первая в СССР установка плазменной обработки ПУФ-80 для удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин.

1970- Разработка комплексов для химико-механической полировки пластин, первых тестеров для транзисторов, проходных камер для климатических испытаний полупроводниковых приборов.

1971- Организация первых работ по созданию отечественных видеомагнитофонов.

1975- Производство оборудования для тонко-пленочных технологий.

1976- Первая в СССР установка для плазмохимического травления нитрида кремния, поликремния и двуокиси кремния на алюминий "ПЛАЗМА-600Т".

1977- Начало экспорта оборудования для электронной промышленности.

1980- Разработка и поставки фильтрующих элементов для частиц 0,2 мкм.

1983- Работы по созданию технохимического оборудования серии "ЛАДА".

1993- Реорганизация в открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения".

2007- на базе площадки НИИ создан Технопарк "Содружество", который объединяет в себе более 50 малых инновационных предприятий. Управляющей компанией технопарка является Закрытое акционерное общество "Воронежский инновационно-технологический центр" (ЗАО "ВИТЦ").

2009- НИИ сертифицировано по международному стандарту ISO 9001:2008, военно-техническому стандарту СРПП ВТ.

2011- НИИПМ вступил в международную ассоциацию участников космической деятельности (МАКД).

2012- Институт вступил в перечень предприятий-поставщиков оборудования и спецтехники для атомной промышленности.


Red Cat
Аватара пользователя
Сообщений: 461
Регистрация: 07.12.2016

Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения

#4

Сообщение Red Cat » 08 сен 2017, 13:50

Цитата:
кхе. Без ложной скромности. В период становления советской БАВЗ НИИПМ - головное предприятие по бытовой видеозаписи
/ниипм.рф/ (блин, только про видеотехнику почему-то ни слова)
Лично я по видео не работал (соседи были с этим направлением)
Начиналось все с ленточных Э-501,509. На базе ОЗ было развернуто производство. Затем с приходом VHS стандарта (моя связь с конторой прервалась - доходили только сведения от оставшихся там) концентрация сил несколько разбавлена. Образовался НИИБВ (ВМ12,15,18,25), потом Видеофон(ВМЦ8220,1230, Рубин). К моменту ВМ1230 НИИПМ начал заваливаться и к 90-м практически помер.
Сейчас что-то копошится в направлении технологического оборудования /ниипм.рф/
ы

http://rt20.mybb2.ru/viewtopic.php?f=25&t=94126

Получается грубо говоря первые видеомагнитофоны производили не на Видеофоне в современном понимании, а на опытном заводе при НИИПМ?

4-min.jpg

фото с той же темы.


Вернуться в «Промышленные предприятия»



Кто сейчас на конференции

Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 0 гостей